光场调制的超快激光微纳加工及功能性器件应用-湖南大学物理与微电子科学学院

光场调制的超快激光微纳加工及功能性器件应用

创建于2021年05月24日星期一作者 : 科研办浏览量 :

主讲人：吴东，中国科学技术大学教授
时间：2021年5月24日，13:30-14:30
地点：物电学院A栋414
联系人：赵楚军

讲座摘要：超快激光加工作为一种先进的制造技术，具有真三维加工、适用多种材料、微纳加工精度等优点。我们开展了超快激光微纳加工技术及其基础应用研究，1）提出了基于空间光调制技术的多焦点阵列、可设计的焦场来提高加工效率和消除折射率失配引起的光畸变；2）揭示了激光与多种材料的相互作用机理，如形状记忆材料的自生长、非线性晶体的系数擦除效应；3）发展了不同技术复合的激光微纳加工手段和工艺，如结合bottom-up技术、湿法腐蚀和退火等工艺。基于以上新技术原理实现了特种功能微纳器件制备，如用于光互连的三维微纳光子学器件、用于靶向药物治疗的微纳机器人、用于油水分离的仿生功能微结构等。

主讲人简介：吴东教授，全国百篇优博，中国激光杂志青年编委，Frontiers of Optoelectronics编委，美国光学学会（OSA）旗下国际权威期刊Optics Letters的Topical Editor。2010年获吉林大学微电子学与固体电子学博士学位，2011年在日本理化学研究所做博士后，2014年到中科大。长期从事超快激光微纳加工技术及其应用研究，在Nat. Photonics（封面文章，入选中国光学十大进展）, Nat. Comm., Light:Sci & Appl. (入选ESI“高被引论文”)，PNAS(美国科学院院刊)，Adv. Mater.等杂志发表论文100余篇，其中影响因子10.0以上30篇，所发表的论文被杂志封面采用、专题评价、最高下载和转载累计50篇次，已被他引3000余次。相关研究受到基金委重大仪器、中科院仪器专项、科技部重点研发计划等项目的支持。