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MEMS谐振器和振荡器关键技术研究

创建于2022年05月26日 星期四作者 : 科研办 浏览量 :

主讲人：吴国强，武汉大学教授

时 间：2022年6月2日 14:00 -16:00

地 点：物电学院A栋112

联系人：徐思行




讲座摘要：时钟是数字电路的心脏，为电路系统提供时间参考和频率基准。近年来，MEMS（Microelectromechanical Systems, 微电子机械系统）谐振器以其体积小、失效率低、与集成电路制造工艺兼容好等优点，已成为取代传统石英晶振的最佳选择。本报告简要介绍了MEMS谐振器实用化中的关键技术，并展望了MEMS谐振器的未来发展方向，最后报告了课题组在低频率-温度漂移被动式温度补偿压电MEMS谐振器以及高频率精度微腔恒温压电MEMS谐振器研究方面的进展。



主讲人简介：吴国强，博士生导师，武汉大学工业科学研究院教授，入选湖北省人才项目。2013年毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所，获得工学博士学位。博士论文入选上海市优秀研究生成果（学术论文）。2014-2018年就职于新加坡科技局微电子研究院，担任研究员、项目负责人。2018年9月以武汉大学青年学术带头人身份入职武汉大学。研究方向为MEMS传感器与智能微系统。主持包含国家重点研发计划课题、国家自然科学基金、重要企业资助等多项科研项目。现已在IEEE JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、APL等本领域主流期刊发表学术论文50余篇，已获授权国家发明专利18项，授权美国发明专利2项。


  • 中国 · 湖南省 · 长沙市 · 岳麓区湖南大学南校区 , 410082

  • 行政办公室：0731-88822332 学生工作办：0731-88821986 教学科研办：0731-88822627

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MEMS谐振器和振荡器关键技术研究

2022-05-26

作者：吴国强

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讲座摘要：时钟是数字电路的心脏，为电路系统提供时间参考和频率基准。近年来，MEMS（Microelectromechanical Systems, 微电子机械系统）谐振器以其体积小、失效率低、与集成电路制造工艺兼容好等优点，已成为取代传统石英晶振的最佳选择。本报告简要介绍了MEMS谐振器实用化中的关键技术，并展望了MEMS谐振器的未来发展方向，最后报告了课题组在低频率-温度漂移被动式温度补偿压电MEMS谐振器以及高频率精度微腔恒温压电MEMS谐振器研究方面的进展。



主讲人简介：吴国强，博士生导师，武汉大学工业科学研究院教授，入选湖北省人才项目。2013年毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所，获得工学博士学位。博士论文入选上海市优秀研究生成果（学术论文）。2014-2018年就职于新加坡科技局微电子研究院，担任研究员、项目负责人。2018年9月以武汉大学青年学术带头人身份入职武汉大学。研究方向为MEMS传感器与智能微系统。主持包含国家重点研发计划课题、国家自然科学基金、重要企业资助等多项科研项目。现已在IEEE JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、APL等本领域主流期刊发表学术论文50余篇，已获授权国家发明专利18项，授权美国发明专利2项。


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